陈爱华
陈爱华博士,现任中晟光电设备(上海)股份有限公司董事长兼执行长,曾任世界著名的半导体设备公司,美国应用材料公司亚气压薄膜沉积产品部总经理和中微半导体设备(上海)有限公司董事兼执行副总裁。他具有二十多年的高端装备开发、产业化、市场化,和综合决策管理的全面经验。
1991年在美国获得博士后,加入美国应用材料公司。在该公司的十几年中,参与和领导开发并市场化了一系列几代薄膜沉积技术和设备,包括金属物理溅射(PVD),钨、铝、和氮化钛化学沉积,氮化硅、晶硅及氧化硅化学沉积等。2004年8月回国和多位在美国硅谷平均具有十几年半导体设备开发和市场引入经验的技术和管理团队创办了中微半导体设备(上海)有限公司,负责主持半导体芯片生产线的两大主体设备,化学沉积薄膜设备和等离子体刻蚀设备的开发和产业化。
2011年5月,陈博士创立的华晟光电设备(香港)有限公司和江苏华盛天龙光电设备公司共同创建了中晟光电设备(上海)股份有限公司,担任董事长兼执行长。中晟开发的国产MOCVD设备实现了市场化,自主创新的具有世界先进水平的MOCVD设备与技术获得市场验证和认可,中晟设备在多家客户已投入规模量产,中晟于2014年底成功挂牌新三板。
陈爱华博士已获得46项美国、日本、和欧洲发明专利,9项中国专利,还有14项待批专利,三次获得美国应用材料公司的杰出工程与发明奖。毕业于美国俄勒岗州立大学获得博士学位。1982年毕业于北京理工大学并获得硕士学位,在该校任讲师并获得优秀教师奖和部委科学进步奖。2015年7月,陈爱华博士带领团队荣获国务院侨办颁发的“重点华侨华人创业团队”称号;2016年5月,陈爱华博士荣获中华人民共和国科学技术部创业创新人才称号。
中晟光电设备(上海)股份有限公司网址www.topecsh.com/