仪器仪表对纳米技术及纳米材料微加工、制造和测控具有十分重要的支持和促进作用。在微型机电系统和纳米技术研究中，相关的理论和关键技术取得了一定的成果，实现了对微型惯性器件和惯性测量组合的研制，在多种微型传感器和微致动器、微流量器件和系统、生物传感和微仪器以及信息微器件的研制方面，也有很大的发展，使中国在微型仪器领域获得良好的起步并取得重要进展。碳纳米管的定向制备，结构与物理性质的控测，生长模式的控制，大面积衬底上纳米管阵列的制备，以及超长纳米管的获得等方面多次取得突破性进展，居世界领先地位。尤其是在超高真空下，研制成功了实现原位实时监控薄膜原子尺度的层状外延生长的激光分子束外延设备（LMBE），并少量生产。该设备可制备高熔点、多元素和复杂结构的薄膜和超晶格（目前已制备了介电、铁电、巨磁阻、导电、超导和光学等材料）以及多种ABO3型全氧化P-N结，其表面与界面的均方根粗糙度达10纳米（nm），为新材料和新器件的探索创造了重要条件。